未来のエレクトロニクス産業を担う走査型非線形誘電率顕微鏡とは―世界初、半導体等の局所的電荷分布や結晶性を高感度に検出可能―（未来科学技術共同研究センター 特任教授 長 康雄）

次世代エレクトロニクス産業の発展を担う半導体デバイスには、ナノスケールでの材料・素子評価技術が不可欠である。本講演では、講演者が独自に開発した走査型非線形誘電率顕微鏡（SNDM）について解説する。この装置は非線形誘電率の分布計測を通して、誘電体の分極分布や半導体中の電荷分布及び結晶性の評価が焦電現象や圧電現象、電気光学現象などを用いずに純電気的に行える世界で初めての装置である。更にSNDMを用いた材料・素子評価技術並びに電子デバイスそのものへの応用について解説する。まず評価技術においては原子スケール誘電計測や誘電体・半導体材料・素子評価技術を、電子デバイスそのものへの展開としては次世代超大容量ハードディスクドライブ実現を目指したSNDM超高密度強誘電体記録について紹介する。
※この動画は、未来科学オープンセミナー（2024-05-31)のアーカイブとなります。