【2019/10/10】三星12層3D矽穿孔HBM領先業界、晶心科技RISC-V的發展現況~

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  • Опубліковано 3 сер 2020
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    #三星 #3D #矽穿孔 #晶心科技 #SiFive #iFive #平頭哥 #RISC-V #HBM #AI #IoT #ASIC
  • Наука та технологія

КОМЕНТАРІ • 47

  • @samtsou
    @samtsou 3 роки тому +4

    3D封裝堆疊的對位問題已IC半導體廠曝光設備而言問題不大,因為位置及孔尺寸都是用micron單位來計算的,真正的問題是在製程的繁瑣上,以矽穿孔(Through Silicon Veil;TSV)為例,他要經過 1. 曝光,顯影,剝離開孔位加工位置。 2. 再以硫化氟,硫化碳氣體電將以具有方向性往孔位處轟打掉矽,且邊打邊在孔壁形成鈍化層,防止over-etching,這步驟是關鍵,孔壁扇形波紋不能出現,否則會有漏電,氣泡在後面出現。 3. 用SACVD或是更好的ALD在整個孔內敷上一層介質層。 3. 再以PVD敷上一層阻隔層Ti或Ta,或用更好的ALD敷上一層TiN,TaN。 4. 用奈米級顆粒金或鈀無電解方式把種晶鍍上孔壁。 5. 再用 Conformal或是Bottum-up把銅鍍入孔內並填滿孔。 6.用CMP磨掉孔上多餘的銅頭及阻隔層。 這裏面為鑽一個矽穿孔,算一下共用了多少不同的製程,耗時又耗工,成本是很高的。 更重要的是這些孔都是高Aspec Ratio,天生就與以上製程很相剋,所以台積電能給AMD做出來,實力及製程控制已達到相當高的火侯。

  • @rickyliu4965
    @rickyliu4965 3 місяці тому

    曲博能不能把这个3D TSV的影片翻拍一下,最近因为HBM记忆体,这个工艺变得很重要,应该会有很多人感兴趣的

  • @yi_huimeng1936
    @yi_huimeng1936 3 роки тому +1

    您的獵戶座能比高通華為穩嗎??

  • @fish7903013
    @fish7903013 3 роки тому +5

    有人帶!真的可以讓外行人,或想知道的人更容易理解。

  • @corioddanta1265
    @corioddanta1265 3 роки тому +1

    請問老師如何看待HBM散熱跟封裝良率問題?

    • @Ansforce
      @Ansforce  3 роки тому

      就是良率目前偏低,所以價格很高,市場上的接受度還要觀察。

  • @TheTingan
    @TheTingan 3 роки тому +1

    請問12層3D封裝,會打敗LTCC嗎? 在未來三年內哪個比較有優勢? 麻煩解惑,謝謝。

    • @Ansforce
      @Ansforce  3 роки тому

      我們這裡講的3D封裝主要是針對記憶體,應用在處理器整合,低溫共燒陶瓷(LTCC)主要是針對被動元件,應用在射頻元件,兩者並沒有競爭關係唷!

    • @TheTingan
      @TheTingan 3 роки тому

      @@Ansforce 曲博謝謝您回覆我。

  • @aj0117
    @aj0117 3 роки тому +5

    畫質有待提升 錄製的網頁文字模糊 看得好難受

    • @Ansforce
      @Ansforce  3 роки тому +2

      抱歉,這個是之前在臉書的直播,轉下來畫質會變差,我們也都陸續會出新影片,畫質就會是比較好的!

  • @chishengwu7775
    @chishengwu7775 3 роки тому +2

    建議影片資訊可以簡單列個時間標籤
    Ex:
    00:30 HBM
    10:07 RISC-V
    Thanks!

    • @Ansforce
      @Ansforce  3 роки тому

      這個我們來研究看看怎麼做,謝囉!

  • @39979mma
    @39979mma 3 роки тому +6

    12層io超難對準 8層就很厲害了

    • @Ansforce
      @Ansforce  3 роки тому

      是的,困難度極高。

    • @qqq2843
      @qqq2843 3 роки тому +1

      我是外行人 想問一個笨問題
      DRAM 堆疊到12層超難對準 那 NAND Flash 128 層 三星 海力士 美光 等...
      代表可能已經掌握相關堆疊技術隨時可以結合在DRAM上嗎? ^^

    • @zcxs20011
      @zcxs20011 3 роки тому +3

      @@qqq2843 你指的NAND Flash 128層應該是3D NAND,, 他的層數是在單顆Die上的線路層做蝕刻/曝光/顯影往上長, 不是封裝的 Die疊Die+TSV

    • @qqq2843
      @qqq2843 3 роки тому

      ​ @Eugen 謝謝您的回覆 原來如此^.^
      我會在您提供的關鍵字上 google 補足相關資訊的謝謝 ^^
      矽穿孔 Through Silicon Via
      (稍微看了一下果然是 笨蠢的問題 竟然還有人願意回覆好感動~ 再次感謝~)

    • @shyuluo
      @shyuluo 3 роки тому

      其實我覺得對位反而不難,最難的應該是在電鍍頭髮1/20(5微米)的孔,縱橫比36還要鍍成銅柱...

  • @TPM188
    @TPM188 3 роки тому +1

    請問這個跟64層128層堆疊有相關嗎,謝謝

    • @Ansforce
      @Ansforce  3 роки тому +1

      有關係呀!這些都是最新的記憶體堆疊技術。

    • @TPM188
      @TPM188 3 роки тому

      請問中國宣稱自己可以做到128堆疊,跟三星的差距是多少?真的快追上了嗎?謝謝

    • @Ansforce
      @Ansforce  3 роки тому

      @@TPM188 3D NAND基本上是在晶片上製作128層元件,當然也可以用封裝的方式把二個64層元件的晶片堆疊起來,有一種說法是中國目前的3D NAND是用二個64層元件的晶片堆疊起來,不論是不是真的,這種技術想出來的人真的是天才,但是只要把晶片切開看一下就知道原理了,大陸的廠商遲早會追上來的。

    • @TPM188
      @TPM188 3 роки тому

      @@Ansforce 大陸的廠商遲早會追上來的........但是為何晶圓代工感覺追不上TSMC? 台灣過去苦追DRAM卻很困難? 謝謝

    • @Ansforce
      @Ansforce  3 роки тому +2

      @@TPM188 這個比的當然是財力呀!大陸隨便都能丟個幾億人民幣給小公司發展技術,像中芯這種重點扶持對象每年拿個上百億人民幣是一定的,再加上內需市場支持,當然能夠追得上。反觀我們自己呢?台灣第一家高功率雷射公司申請幾個政府補助寫了一堆報告,兩年總共才拿2000萬台幣而已,這像是要打國際杯的嗎?

  • @apple0083
    @apple0083 3 роки тому +1

    孔是一次打720um 不大可能一層一層打啦............

    • @taojia4790
      @taojia4790 4 місяці тому

      你说的刚好相反 朋友

  • @user-ws2fz4uz1x
    @user-ws2fz4uz1x 3 роки тому +1

    良率和散熱不知道怎樣

    • @Ansforce
      @Ansforce  3 роки тому +1

      坦白說,據業界朋友說HBM的良率很低,所以價格一直下不來,當然散熱是另外一個問題。

    • @corioddanta1265
      @corioddanta1265 3 роки тому

      當初聽說AMD RVII上面那顆16GB HBM2價格超過300美以上

  • @Hiritsuki
    @Hiritsuki 3 роки тому +4

    穿孔初期成本肯定很高....因為其中只要失敗一片就是報廢了

    • @Hiritsuki
      @Hiritsuki 3 роки тому +1

      穿孔方法只有雷射

    • @shao-anchen9813
      @shao-anchen9813 3 роки тому

      @@Hiritsuki 穿孔方法不會是靠雷射...60000個孔你要用雷射射到哪時?

    • @Ansforce
      @Ansforce  3 роки тому

      矽穿孔可以用蝕刻或雷射,60000個孔當然用蝕刻成本較低。

  • @cimaaka8037
    @cimaaka8037 3 роки тому +2

    磨一磨就裂了,還100微米

    • @Ansforce
      @Ansforce  3 роки тому +3

      100微米會裂?現在昇陽半導體的晶圓薄化都做到50微米了唷!

  • @yi_huimeng1936
    @yi_huimeng1936 3 роки тому +2

    Samsung1125又再說大話了 先搞好自己手機的CPU吧

  • @alexlisten
    @alexlisten 3 роки тому +2

    都去年的新聞...

    • @Ansforce
      @Ansforce  3 роки тому

      這是去年10/10臉書的直播唷!