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Wie funktioniert das PACVD Verfahren
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- Опубліковано 7 лип 2024
- Die Prozessanordnung ähnelt der des Sputterns, welches häufig in Kombination mit CVD verwendet wird. Beim PACVD-Verfahren wird ein Gas, das Elemente des Schichtmaterials enthält, in die Vakuumkammer geleitet. Danach wird ein Entladungsbogen durch eine Wechselspannung gezündet.
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