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Wie funktioniert das PACVD Verfahren

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  • Опубліковано 7 лип 2024
  • Die Prozessanordnung ähnelt der des Sputterns, welches häufig in Kombination mit CVD verwendet wird. Beim PACVD-Verfahren wird ein Gas, das Elemente des Schichtmaterials enthält, in die Vakuumkammer geleitet. Danach wird ein Entladungsbogen durch eine Wechselspannung gezündet.
    Mehr unter: www.oerlikon.c...

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