「CMOS集積回路作製の基礎技術」

第6回　微細加工プロセス技術セミナー（2021年 2月17日）
【チュートリアル】
講師：北九州産業学術推進機構　安藤秀幸
集積回路の作製や評価に必要な基本的な技術を、CMOS技術を例に、回路シミュレーション・プロセス技術・デバイス評価技術の一連の流れを分かりやすく解説します
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