[ 반도체 엔지니어 아카데미 ] 반도체 설비에 사용되는 vacuum gauge 의 종류와 원리 진공을 사용하는 이유와 활용 방법

반도체 설비에서 다양한 압력 조건을 사용하게 됩니다. 분명 특정한 압력 조건을 유지하는 이유가 있을 것이고, 압력을 읽는 게이지들이 있는데, 게이지에 대해 학습을 할 때 듣게되는 용어와 반도체 설비에서 압력을 변화를 시키는 이유에 대해 이야기를 해보았습니다.
baratron gauge , pirani gauge , HCIG , CCIG 게이지들의 원리를 간단하게 설명하였습니다.
그 외에도 압력변화를 통해 반도체 공정에서 발생되는 현상에 대해서도 이야기하였습니다.