[반도체엔지니어 아카데미] Plasma 설비의 matching box 역활과 원리

[@4b964]

요즘 딱 궁금하던건데 감사합니다!

[@idplas]

RF discharge에서 매칭 원리에 대해서 정말 간략하면서도 이해도가 높은 설명이네요 ~~
자료 잘 보고 있습니다

[@mungineer1914]

도움이 되셨다니 다행입니다.

[@lostandfound4421]

전공생 아니라 회로이론 공부하기 힘들었는데, 이해하기 쉽게 설명 해줘서 너무 감사합니다ㅠㅠ

[@modorikr]

기본적인 전기이론으로 이렇게 깔끔히 설명한걸 유튜브에서 보게 될지 깜놀 했습니다. 잘 보고 지나갑니다. Auto matching 에 대한 개념도 언제쯤 가능할지 모르지만 살짝 기대해봅니다. 다시한번 감사드립니다 ^^

[@reongj6874]

협업에서 이게 어떻게 작동하는지 궁금했는데 이해하는데 많은 도움 됐습니다 감사합니다!

[@ksu-s6k]

영상보면서 도움많이되고있습니다! 감사합니다!
혹시 RPU에 대해서도 설명해주실 수 있으실까요??

[@제마니]

너무너무 감사해요
쉽게 이해했어요
CVD 다른것도 알려주실수 없을까요?
Scrubber

[@호야-q7w3n]

안녕하세요. 설명 쉽게 잘해주셔서 감사드립니다
한가지 문의사항이 있는데요
임피던스 매칭원리 예시에서
캐패시터 병렬 연결 계산값이 (100-j300)옴이 나왔는데.. 어떻게 그 값이 나 온지 알 수 있을까여?ㅠ
계산해도 그 값이 안나와서요..

[@큐엘디-v9u]

Load tune 이라고 하는 것이 캐패시터와 인덕턴스 인건가요?

[@스제임-x9r]

load=병렬 커패시터, tune= 직렬커패시터

[@이헌우-w8m]

영상기준으로 Chamber가 1000옴인것은 변하지 않으니까...실제로 Matcher를 사용하더라도 완벽하게 100옴이 되는것은 아니겠네요...맞나요?

[@mungineer1914]

네 맞습니다..

[@스제임-x9r]

그렇지않아요 실제로 완벽하게는 어렵겠지만 이론적으로는 가능합니다