「可変メタサーフェスを利用した光位相変調素子」 東京農工大学 大学院工学研究院 先端機械システム部門 准教授 岩見 健太郎

「東京農工大学 新技術説明会」（2019年7月9日開催）にて発表。shingi.jst.go....
【新技術の概要】
本技術は、可視光で大きな位相を発生させる光メタサーフェスにMEMSアクチュエータを集積化し、位相可変性を持たせたものです。メタサーフェスとして金ナノフィン構造を利用することにより、大きな位相差と高い透過率を両立しています。静電駆動方式を採用することにより、サブミクロンスケールの構造で波長532 nmにおいて位相変調を実現しています。
【従来技術・競合技術との比較】
液晶を用いた位相変調素子に比べ1/10程度小型であり、集積化に向いた技術です。位相変調範囲も液晶並みに大きくできる可能性があります。また、理論的な解析によって、液晶よりも速い数kHz程度の応答速度が期待できます。
【新技術の特徴】
・機械的に変形することで光の位相を変えるメタサーフェス
・静電駆動を利用することによる高速応答
・大きな位相変調範囲
【想定される用途】
・プロジェクタ向け透過率変調器
・立体ディスプレイ向け位相変調器
・ディスプレイ用偏光変調器