[반도체,디스플레이] 4. 해상의 원리(2)

[@김우진-e6r7c]

영상 감사합니다. 반도체 설비 취업준비중인데 많이 도움이 되고 있습니다.
노광기의 발전: 접촉식(마스크 손상, 축소배율X 단점) → 근접노광(회절로 해상도 감소 이슈) → 투영노광(광학계로 근접노광 단점 보완)
※회절 : 빛이 슬릿을 통과할때 뒤까지 돌아감
※간섭 : 위상의 중첩의 원리에 따라 진폭 변화
○ 투영노광
- 회절하는 빛을 광학계로 모아 해상도를 높임
- 미세 패터닝이 가능

[@gasipnam]

잘 정리해주셨네요~ 취준생활 끝에 좋은 결과 있으시길 바랍니다^^

[@수붕이-p2w]

너무너무 감사합니다 포토공정 준비하는 중인데 너무 좋은강의에요!

[@진한-t7n]

영상 너무 감사합니다! 개인 투자 블로그에 공부 정리차원에서 옮겨 적으려고 하는데 괜찮으실까요??

[@gasipnam]

네 괜찮습니다~