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좋은 강의 감사합니다!!😊😊😊
RCA는 무엇의 약어인가요?
Radio Corporation of America 라는 회사 이름입니다. 처음 이 방법이 개발된 곳입니다. 자세한 사연은 검색해보면 쉽게 찾아볼 수 있습니다.
교수님 정말 바보같은질문일 수 있지만 클리닝이 웻에칭을 사용하여 표면을 세척하는 것으로 이해하였는데 실수로 표면을 세척하려다 에칭이 될수도 있는 건가요?
cleaning 용액들이 Si 을 녹이지는 않습니다.
감사합니다.
sc1이나 sc2 세정공정에서 가장 주요한 조건이 뭔가요? 그리고 만약 주요한조건이 잘못되었다면 발생하는 문제점은 뭔가요?
수많은 실험을 통해 표준으로 정한 조건이기 때문에 더 중요한 조건 같은 것은 없습니다. 모든 조건이 중요합니다.
RCA 클리닝 순서를 바꿔서 진행하면 어떤 문제가 발생하나요?
SC-2부터 진행하면 organic residue들이 metal contaminant를 감싸고 있는 경우가 많기 때문에, 제대로 cleaning이 이루어지지 못합니다.
황산 과산화수소황산이 날려버림 SC-1 유기물 파티클 제거실리콘 산화
![[기초반도체공정|2.1] #oxidation #gate insulator #SiO2 #dangling bond #forming gas annealing](http://i.ytimg.com/vi/a4EkoGerI0Q/mqdefault.jpg)
![[기초반도체공정|2.1] #oxidation #gate insulator #SiO2 #dangling bond #forming gas annealing](/img/tr.png)
![[기초반도체공정|7.1] #metallization #interconnection #junction spike #electromigration #Damascene](http://i.ytimg.com/vi/gfcE3lQDLFk/mqdefault.jpg)
![[기초반도체공정|2.3] #oxidation #현재는 안쓰는 이유 #gate oxide scaling #high-k metal gate](/img/n.gif)
좋은 강의 감사합니다!!😊😊😊
RCA는 무엇의 약어인가요?
Radio Corporation of America 라는 회사 이름입니다. 처음 이 방법이 개발된 곳입니다. 자세한 사연은 검색해보면 쉽게 찾아볼 수 있습니다.
교수님 정말 바보같은질문일 수 있지만 클리닝이 웻에칭을 사용하여 표면을 세척하는 것으로 이해하였는데 실수로 표면을 세척하려다 에칭이 될수도 있는 건가요?
cleaning 용액들이 Si 을 녹이지는 않습니다.
감사합니다.
sc1이나 sc2 세정공정에서 가장 주요한 조건이 뭔가요? 그리고 만약 주요한조건이 잘못되었다면 발생하는 문제점은 뭔가요?
수많은 실험을 통해 표준으로 정한 조건이기 때문에 더 중요한 조건 같은 것은 없습니다. 모든 조건이 중요합니다.
RCA 클리닝 순서를 바꿔서 진행하면 어떤 문제가 발생하나요?
SC-2부터 진행하면 organic residue들이 metal contaminant를 감싸고 있는 경우가 많기 때문에, 제대로 cleaning이 이루어지지 못합니다.
황산 과산화수소
황산이 날려버림
SC-1 유기물 파티클 제거
실리콘 산화