EUV 포토레지스트 왜 어렵나 동진쎄미켐 첫 개발 성공 의미있다
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- Опубліковано 20 сер 2024
- EUV 포토레지스트 왜 어렵나
동진쎄미켐 첫 개발 성공 의미있다
※ 음향 상태가 고르지 못한점 양해 부탁드립니다.
00:13 앞으로의 EUV, 어떻게 진화할까…국내 최고 석학이 소개하는 EUV 최신 트렌드 웨비나 안내
01:11 반도체 포토레지스트와 포토리소그래피
03:35 포토 공정에 대해서
04:55 포토레지스트와 구성요소
08:48 축소 복사 기술과 회로를 만드는 과정
10:13 포토리소그래피의 성능 지표와 RLS Trade-off
14:12 EUV 리스그래피의 딜레마와 EUV에 최적화된 레지스트 메커니즘
16:00 기존 노광 공정과 EUV 리소그래피의 차이점
#포토레지스트 #반도체 #EUV
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앞으로의 EUV, 어떻게 진화할까…
국내 최고 석학이 소개하는 EUV 최신 트렌드
2022년 1월 12일(수) 10:00~18:00
사전링크
www.thelec.kr/e...
[행사개요]
- 행사명 : 앞으로의 EUV, 어떻게 진화할까…국내 최고 석학이 소개하는 EUV 최신 트렌드
- 주최‧주관 : 전자부품 전문미디어 디일렉(www.thelec.kr), EUV-IUCC
- 일시 : 2022년 1월 12일(수) 10:00~18:00
- 장소 : 디일렉 웨비나 플랫폼
*오프라인 행사와 별도로 학계 석학들이 EUV 생태계에 대한 깊이 있는 지식을 전달하는 온라인 웨비나도 진행됩니다. 이와 관련된 행사는 개별 공지를 드리겠습니다.
[유의사항]
* 사전 결제를 진행해주신 분에 한하여 행사 참여가 가능합니다.
* 방송은 크롬에 최적화되어 있으며, 시청을 위해서 Chrome(크롬) 설치가 필요합니다.
* 방송 화면이 끊기면 새로고침 혹은 재접속 바랍니다.
* 중복 접속은 허용되지 않습니다.
* 발표시간은 연사분들의 사정에 의하여 조정이 될 수 있습니다.
* 일부 세션만 발표자료를 제공합니다.
※ 디일렉 멤버십
멤버십 안내 ( • 디일렉 유튜브 멤버십 개설했습니다. )
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앞으로의 EUV, 어떻게 진화할까…
국내 최고 석학이 소개하는 EUV 최신 트렌드
2022년 1월 12일(수) 10:00~18:00
사전링크
www.thelec.kr/eventConfig/html/event_inc.html?eventcode=event34
[행사개요]
- 행사명 : 앞으로의 EUV, 어떻게 진화할까…국내 최고 석학이 소개하는 EUV 최신 트렌드
- 주최‧주관 : 전자부품 전문미디어 디일렉(www.thelec.kr), EUV-IUCC
- 일시 : 2022년 1월 12일(수) 10:00~18:00
- 장소 : 디일렉 웨비나 플랫폼
*오프라인 행사와 별도로 학계 석학들이 EUV 생태계에 대한 깊이 있는 지식을 전달하는 온라인 웨비나도 진행됩니다. 이와 관련된 행사는 개별 공지를 드리겠습니다.
[유의사항]
* 사전 결제를 진행해주신 분에 한하여 행사 참여가 가능합니다.
* 방송은 크롬에 최적화되어 있으며, 시청을 위해서 Chrome(크롬) 설치가 필요합니다.
* 방송 화면이 끊기면 새로고침 혹은 재접속 바랍니다.
* 중복 접속은 허용되지 않습니다.
* 발표시간은 연사분들의 사정에 의하여 조정이 될 수 있습니다.
* 일부 세션만 발표자료를 제공합니다.
정말 좋은 인터뷰 감사드립니다. 포토 공정 엔지니어를 꿈꾸고 있는데, 많은 도움이 되었습니다!
대단한성과입니다
우리나라가 2030년 되면 모든분야에서 업그레이 될겁니다
그렇게 되려면 투표를 잘 해야지요.
2035년에 저출산으로 망해있을겁니다
너무나도 좋은 강의 감사합니다!!
욕심을 좀 부려 보자면,
녹음 품질만 조금 더 좋았으면 금상첨화 일 것 같습니다 ㅎㅎ
정말 쉽게 잘 설명 해주셨는데,
오디오가 않받쳐주네요. 정말 안타까울 뿐입니다.
중국인 어느 화가는 폭포수를 그릴때에 폭포를 그리지 않고 주위의 풀들과 돌을 그리고 폭포수는 여백으로 남겨두어서 커다란 폭포를 그립니다
축소판으로 만들때에도 역시 여백의 미학을 잘 활용하시면 모든것을 다 축소해서 그릴 필요없이 주변의 돌등과 풀을 그리고 중요한 부분은 여백으로 남겨두면 됩니다.
김도헌올림.
포토리지스트는 종이에 글자를 쓰는 잉크로 생각하면 헷갈리고 종이위에 코팅된 감광제로 생각하는 것이 덜 헷갈림. 자외선을 쬐게 되면 변질되어 다른 화학물질(현상액)에 의해 녹안나거나 아니면 반대로 자외선을 쬐지 못한 부분이 녹아남. 또 고분자는 분자량 1만 이상인 것을 말함
업계에 있는 사람들은 이미 다 알고 있습니다
동진이 퀄 통과한거
대한민국 통틀어 동진말고 이거 할수 있는 업체는 없습니다
동진쎄미켐 이 euv pr 개발했다는내용은? 왜 없죠?
회사가 공식적으로 인정하지 않으니까요. 그렇다고 부인도 안 하고. ㅋㅋ 신비주의 컨셉 회사에요.
2:30 제가 알기로는 UV를 받으면 화학반응만 일어나고 날라가는건 현상액을 통해 이뤄지는건데 EUV같은 얇은 선폭을 위한 포토공정은 좀 다른가요?
더 정교해야 하는 것으로 이해하고 있습니다만 좀 더 자세히 말씀해주시면 이해가 빠를 것 같습니다
high N/A를 사용하면 수율에 있어 P/R의 퀄을 어느정도 커버할수있는지 궁금하네요
수율은 사용자가 잡기나름이죠 high na로가면 euv dpt할껄 single ptning으로 끝낼수 있으니 원가절감효과가 있습니다
경영과 기술개발연구의 조화로 세계최강의 슈퍼을인 ASLM보다 더 뛰어난 euv노광기의 개발과 상용화에 성공하길 빕니다
재료는 경인양행에서 공급하는걸로 아는데요.
경인양행은 디스플레이쪽이고...동진이 하는 반도체 PR에 공급하는 건 미원상사로 알고 있습니다.
듣다보니 우리나라 정부와 학계가 얼마나 안일했는지 알 수 있네요. 지금 상황도 마찬가지 새로운 기술은 온전히 외국에서 들어오고 그것을 고도화 산업화하는 능력은 있는데
완전히 생소한 기술은 생각하지 못하는 현실이 안타갑습니다. 그래서 그동안 소.부.장 이라는 말을 외친것이 외부 리스크를 인식하지 못 한 결과로써 지금 현재상황에
심각성을 인식한것이 다행입니다. 그렇지만 아직도 가야할 길이 너무나 멀고 힘들 길을 포기하지 말고 따라 잡 길 바랍니다.
대기업은 돈 안되면 안하고 안정적 납품처가 있는데 굳이 나설일이 없죠 정부가 개입해봐야 비효율 결국 눈먼돈 먹기 밖에 안되죠
안일했던 곳은 정부, 학계 아니라 대기업이었지요. 국내 기업이나 학계쪽에서 초기 기술은 개발을 했지만, 그걸 대기업 장비에서 테스트를 할 수가 없었으니까요. 삼성은 일본에서 받아서 쓰면 됐으니까 굳이 장비 멈추고 국산화 테스트 할 필요성을 못 느꼈구요. 근데 그걸 정부가 삼성보고 니네 장비 세우고 국내에서 개발한 거 테스트 좀 해줘~~ 라고 말할 수 없쟎아요.
아무리들어도 들을때마다 어렵네요.
투자하려면 이런 공정과정도 알아야하나요?
아는만큼 보이니까요
모르면 뭐 하나 바꼈을때 팔아야되나? 더 사야되나? 이런고민만 하다가 뇌동매매 가는거죠
포토공정을 할때 중요한 재료가 PR인데 제가 알기론 EUV같은 초고주파의 자외선을 사용하는 PR은 일반 DUV용 PR과는 다릅니다. 다시말하면 EUV만드는 회사, PR만드는 회사에 투자할수도 있고 PR의 재료가 되는 solvent나 PAG만드는 회사에 투자할수도 있고 그런거 아닐까요?
동진쎄미켐.. 뭐임? 한마디도 안나오네.. 개발 했다는 건지,, 개발중이라는 건지 ㅡㅡ
아니.... 마이크를 분명히 달았는데 오디오 못딴 거에요??
왜 카메라에서 녹음한 소리로 들리지?
기억상으로는 쇼와덴코와 합작회사이고 그냥 현지생산 하는 것 아닌가요? 그걸 개발이라고 하긴 애매하지 않나요..
실제 EUV PR 성능차이는 일본 업체와 큽니다 상징성이 중요한게 아니라 Critical layer에 사용가능해야 진짜입니다 현업의 이야기도 실어주세요~~
맞습니다 일본업체가 벤츠라면 동진은 포니를 개발한거죠 이제서야...한데 자동차보다 는 훨씬빠르게 완성되어 갈거라고 생각해요 첨단산업의 발전속도를 보면.
@@user-xs9hv4hd3e 답글 감사합니다^^ EUV 관련 소재 개발하고 있는 입장에서 기술차이가 있습니다 펑가 기회가 답인듯 합니다~~
@@sungjaelee8195 혹시 미*상사에서 일하세요?
소리가 왜 이렇게 울리지?
포토레지스트과정-기본적 내용인데...노광기술이 왜 중요한지 설명을 해주셨으면, 근데 쌀과 콩의 비유는 이해가 안가요.
쌀과 콩보다 작은 붓과 큰 붓으로 설명하셨으면 어떨까 싶네요. EUV 는 큰 붓을 가지고 더 미세공정을 그려야 하는 것이기 때문에 어려운 기술이라고....
동진과 일본사와 합작했어 만든것 아닌가요
결론은 동진쎄미켐이 아직 개발완료한건 아니라는거네 그러니 동진도 아직 공시도없고 ir도없고 정보도없고말이지
개발 되었음
상용화는 임박
동진은 개발해도 공시 안 해요. 탐방도 안 받는데요. 그래서 증권사들이 리포트를 못 씁니다.
@@travellerworld8966 아무래도 보안 문제 때문일까요??
@@jwpark1235 모르겠습니다. 경영승계 때문에 주가가 오르는 걸 원하지 않는 걸 수도 있구요.... 그 속마음이야 대주주만 알겠죠.
@@travellerworld8966 실례지만...경영승계가 머지않아 이뤄질까요? 회장님은 아직 젊으신것 같아서요.
그래도 첨단과학을 설명하고 보여준다는 방송인데 마이크성능은 전혀 과학과는 거리가 멀구먼.. 유툽방송을 수만편을 봤어도 이렇게 소리가 거슬리는 방송은 처음이구나.. 방송내용과 음질의 이 괴리감은 뭐지?
참 헷갈리게 말하시네 ㅋㅋㅋㅋㅋ
아! 음질 너무 안 좋아요
그렇게까지 상세하게 설명할 필요가 잇나요 경쟁업체들은 개발 방향만 알아도 따라올텐데
필름현상과 사진인화과정과 비슷한데 되게 어럽게 설명하는듯... 불필요한 외국어. 전문용어을 섞어서 어렵게, 전문용어를 알아듣는 사람정도는 설명이 필요없는 사람들...
내용은 좋은데 사회자 말씀 버버버 알아듣기 어렵고 툭툭 던지는 말투도 경상도말투 중에도 무례한 버젼으로 들립니다.
우리나라의 반도체 관련 학과 교수중에 진짜로 반도체 아는 사람은 없습니다. 다 그냥, 그 랩 출신이 반도체 회사 들어갔을때 남들보다 빨리 적응한다는 점 뿐이죠. 그래서 반도체 업계는 기본적으로 국내 교수에 대한 존경심이 전혀 없어요.
사회자가 왤캐 수준떨어져 보이죠?
일부러 잘 모르는 척 하고 질문하는 겁니다. ㅋㅋ
한주엽씨는 디일렉 창업하기 전에 전자신문에서 반도체 기자 10년 넘게 해서 왠만한 반도체 애널리스트 수준이에요.
이 회사가 그 유명한 오스템 임플란트 횡령과 관련있는 회사죠? 대기업 인수 허위기사로 주가 올랐다가 떨어진 회사
본인도 잘 모르면서 다른 사람들을 가르치겠다고 강의를 하고 있다는 기분....