真空の玉手箱
真空の玉手箱
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真空EFEM=究極のEFEM、酸素フリーのウェーハプロセス、半導体製造装置。世界中まだどこも実現していない。日本が最初になることを願う。
すべてのウェーハプロセスを酸素フリーの真空中で処理します。
FOUPからウェーハを取出し→ロードロック室に搬送→ウェーハプロセス→ロードロック室に搬送→ウェーハをFOUPに戻す 
これらがすべて酸素フリーの真空中で処理することができます。
ロードロック室も常時真空状態、真空排気もベントも必要ありません。
この真空EFEMを考案した有限会社ベックを2023年10月、共同機器株式会社に吸収させました。
お問い合わせは
共同機器株式会社
www.kyodokiki.com/
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